超纯水/半导体滤膜选型指南

一、超纯水制备工艺链

一座12英寸晶圆厂的超纯水系统，通常包含以下工艺链：

二、各工艺段滤膜选型

① 预处理：多介质 + 超滤（UF）

参数	推荐规格	进口品牌
膜孔径	0.02-0.1μm（PVDF中空纤维）	旭化成、东丽、科氏
进水SDI	≤5（UF出水SDI≤3）	—
通量	50-80 LMH	—
耐氯性	PVDF材质，耐游离氯	推荐科氏Fluid Systems

② 一级RO：高通量抗污染膜

一级RO去除97%-99%的离子和有机物，是超纯水系统的核心。

参数	推荐值	说明
膜材质	聚酰胺复合膜（TFC）	杜邦FilmTec™、东丽TMG系列
脱盐率	≥99.5%	一级RO要求
通量	15-25 LMH	视进水水质调整
耐污染性	选用抗污染膜（FR系列）	降低清洗频率

③ 二级RO：高脱盐率膜

二级RO进水是一级RO产水，水质已较好，重点是高脱盐率和低TOC溶出。

④ EDI：电去离子模块

EDI是超纯水制备的关键——它替代了传统的混床离子交换，不需要酸碱再生，连续产水。

品牌	型号系列	产水量	出水电阻率
西门子（Siemens）	Iposel™	1-4 m³/h/模块	≥16 MΩ·cm
通用电气（GE）	E-Cell™	1-4 m³/h/模块	≥16 MΩ·cm
苏伊士（SUEZ）	Ecodis™	1-3 m³/h/模块	≥15 MΩ·cm
久保田（Kubota）	EDI模块	0.5-3 m³/h/模块	≥15 MΩ·cm

⑤ 终端过滤：超滤（UF）+ 微滤（MF）

晶圆制造对微粒控制极严，终端要用0.02μm UF膜或0.003μm MF膜做最后把关。

三、半导体超纯水关键指标与控制

指标	SEMI标准	控制手段
电阻率	≥18.2 MΩ·cm	在线电阻率仪 + EDI精处理
TOC	≤1 ppb	UV254氧化 + 低TOC膜
微粒（≥0.05μm）	≤10 个/L	终端0.02μm UF + 过滤
溶硅	≤0.5 ppb	二级RO高脱盐率 + 抛光混床
硼（B）	≤3 ppt	专用低硼渗透RO膜
金属离子（Na/K/Fe）	≤1 ppt	抛光混床 + 在线监测

四、进口滤膜品牌推荐（半导体级）

品牌	国家	明星产品	适用工艺
杜邦（DuPont）	美国	FilmTec™ BW30系列	RO/NF（一级+二级）
东丽（Toray）	日本	TMG/SW系列	RO（半导体级）
科氏（Koch）	美国	Fluid Systems™	RO/UF（耐氯型）
旭化成（Asahi Kasei）	日本	Microza™ UF	UF（终端过滤）
西门子（Siemens）	德国	Iposel™ EDI	EDI模块
苏伊士（SUEZ）	法国	Ecodis™ EDI	EDI模块

五、选型 Checklist